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- 製品詳細
製品詳細
（株）日本レーザー
電動回転ステージ（自動回転ステージ）
Newport社 回転ステージ
1000度/秒の高速回転。大口径＆大荷重
精密ガラススケールエンコーダによる高い再現性、最小移動量、高い精度など
充実のラインナップ
- （株）日本レーザー
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【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１
【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860
| 製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。 03-5285-0861 |
| 直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、 100モデル以上を展開 |
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| ◆概要 |
| 電動回転ステージは、研究・大学機関、工業、防衛産業などの市場にソリューションを長年供給し続けてきた経験に基づいて、設計・強化されてきた精密位置決め製品です。 | |
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| ◆活用事例 |
| 半導体ウェハ検査、マイクロロボティクス、精密計測、モーションシミュレータ、MEMSシミュレータ、ジャイロ＆加速度センサの検査用途など |
| ◆主な仕様 |
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詳しくは製品ページをご覧ください。（日本レーザーWEBサイトに移動します） |
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| RGVシリーズはダイレクト駆動方式のコンパクトな回転ステージで、極めて優れた最小移動量と卓越した位置決め性能を兼ね備えた超高速回転を実現します。摩耗のないダイレクト駆動モータにより信頼性に優れた操作が保証されます。また、位置決めの高い繰り返し再現性を実現する高精密ガラススケール、高い剛性をもたらしブレを低く抑える大直径ベアリングを備えています。RGVは、位置決めへの使用やスピンドルとしての利用が可能です。 |
| ◆日本レーザーの製品ラインナップ |
| Newport社 電動ステージ | ||||||
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| 【パターン・ジェネレータ】 （レーザー描画装置・レーザー加工装置） | |
| 高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】 マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】 R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】 卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】 |
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| 【パルスレーザー】 | |
| パルスファイバーレーザーredENERGY G4 高繰返しLD励起パルス固体レーザー（IMPACTシリーズ） |
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| 【インプリント】 | |
| UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200 熱式miniインプリント装置 EHN-3250 |
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| 【粒度分布計測】 | |
| レーザー回折式 粒度分布測定（乾式・湿式） HELOS&RODOS | |
| 【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】 | |||||||||||||
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| ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ ピエゾ駆動光学マウント ピエゾ駆動ステージ NanoX 高速ポジショナ スタックアクチュエータ |
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