製品詳細
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直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、 100モデル以上を展開 |
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- nm分解能の精密位置決め
- 真空対応可
- 特注, OEM可
- 大耐荷重/ゴニオステージ/小型&軽量/高速/コントローラ一体型など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択
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電動回転ステージは、研究・大学機関、工業、防衛産業などの市場にソリューションを長年供給し続けてきた経験に基づいて、設計・強化されてきた精密位置決め製品です。 |
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- 直接駆動の直読式高速回転型RGVシリーズから、多用途で低価格のNSR1ユニバーサル回転子におよぶ、100種類以上のラインナップ
- 真空対応バージョンや多軸設計、OEMやカスタムソリューションにも対応可能
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半導体ウェハ検査、マイクロロボティクス、精密計測、モーションシミュレータ、MEMSシミュレータ、ジャイロ&加速度センサの検査用途など |
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RGVシリーズはダイレクト駆動方式のコンパクトな回転ステージで、極めて優れた最小移動量と卓越した位置決め性能を兼ね備えた超高速回転を実現します。摩耗のないダイレクト駆動モータにより信頼性に優れた操作が保証されます。また、位置決めの高い繰り返し再現性を実現する高精密ガラススケール、高い剛性をもたらしブレを低く抑える大直径ベアリングを備えています。RGVは、位置決めへの使用やスピンドルとしての利用が可能です。 |