フォーカスレンズポジショナ　MIPOSシリーズ

マイクロ及びマクロ対物レンズの精密調整や、顕微鏡のレボルバ全体のピエゾによる調整のためのフォーカスポジショナです。レンズをZ軸方向にサブナノメートルの高い解像度で駆動します。あらゆるメーカーの顕微鏡で使用でき、特に単一光子顕微鏡、レーザー走査顕微鏡、コンフォーカル顕微鏡など高解像度顕微鏡の用途に最適です。

• 移動量： 16～500μm
• 最大レンズ径： 40mm
• 最大レンズ重量： 500g
• MIPOS N100 顕微鏡レボルバ用高精度ポジショナ
• MIPOS 16-158 干渉計セットアップ用ステージ（最大 3000g, ホール径 104mm）

ミラーマウント　PSHシリーズ

ミラーなどのオプティクスのための高速傾き調整システムで、高速スキャニング、視標追跡、ビームステアリングなど多くのアプリケーションで使用できます。kHzレベルの高い共振周波数と1nm未満の高い分解能を特長としています。フィードバックセンサ付きもございます。

• 可動軸： (θ, x, y, z) / (θ, x, y) / (θ, x)
• 最大オプティクス径： 50mm
• 共振周波数： 最高 6.5kHz
• フィードバックセンサオプション／真空オプション

シャッター／スリットシステム　PZSシリーズ

2個のスリットエッジを1個のピエゾアクチュエータで駆動します。平行四辺形デザインの硬性湾曲ヒンジにより、スリットエッジの中心線への同期を最適化しています。またひずみゲージ測定システムで、ヒステリシス、クリープ、温度の影響を防ぎます。精度は測定システム内蔵で 約 0.1% です。UHV対応モデルも可能です。

• 開口： 60～1500μm
• ナノメートルオーダーの高い分解能
• 真空バージョン
• 測定システムオプション

ファイバポジショニングシステム　FAPOSシリーズ

ファイバのカップリングやアライメントに便利な高精度XYZポジショニングシステムです。コンパクトなモジュールデザインで、多様なアプリケーションに柔軟に対応できます。

マイクロメータドライブを利用した Side Aと、TRITOR X軸ステージを利用した高精度な Side Bがございます。マイクロ対物レンズマウントやファイバホルダーなどのアクセサリ類もございます。

• Side A： 最大可動量 5mm, 精度 <0.5μm
• Side B： 最大可動量 100～400μm, 精度 1～30nm

マイクロメータスクリュードライブ　MICIシリーズ

光学産業における品質管理のために開発されたピエゾアクチュエータによるマイクロスクリュードライブです。ナノメートル、サブナノメートルオーダーの高分解能と、高い耐負荷量、堅牢さを同時に実現しました。

• 移動量： 80～250μm
• 高い共振周波数
• 機械的遊び無し
• リニアステージ、品質管理、自動化、光学部品の精密調整、マイクロアセンブリなどに最適

グリッパー

微小部品のマイクロポジショニングやハンドリング用のピエゾアクチュエータ駆動のグリッパーです。最大開口は300μmです。コンパクトパッケージで、OEM用途にも最適です。

• GRIPPY： プリロードスプリングでグリップ力の調整が可能
• ファイバグリッパー： ミリ秒レベルの高速グリップ動作