X軸ステージ　PX, PU シリーズ

トップ／ボトムプレート付きのPXシリーズと、プレートのないブロックアクチュエータ PUシリーズの2シリーズがございます。

• 移動量： 38～1500μm（PX）, 40～100μm
• サイズ： 25x25～78x34mm²（PX）
• PX： センサ／真空オプション有
• PU： 縦／横取付可能
• ミリ秒の高速セッティング
• 優れた長時間位置安定性

Z軸ステージ　PZシリーズ

1nm未満の高い分解能を特長とするハイダイナミックレンジのZ軸ステージです。標準的なPZシリーズはトップ／ボトムプレート付き、PZ OEM 及び PZ D12 シリーズはユーザーセットアップへの組込みを意図したプレート無のデザインになっています。

• 移動量： 8～400μm
• 共振周波数 最高 3kHz
• 分解能（シングルステップ）： 0.02nm
• センサ／真空オプション有
• 高いZ軸平行度
• ドリフトやヒステリシスのない高い再現性

XY軸ステージ　PXYシリーズ

ピエゾアクチュエータを湾曲ヒンジ機構に組み込んだXYステージです。ナノメートルレベルの高い精度と、1軸当り 最高 700μmのロングトラベルを達成しています。また平行四辺形型の硬性ヒンジ採用で、機械的遊びのない平行度の高い動作が得られます。他の装置への組込みも容易で、中心穴には種々の光学素子をマウントできます。

• 移動量： 16～400μm
• トップ／ボトムプレート付き　PXY 38/100/200/201/400
• AFM, 計測用途に便利なL字型モデル PXY D12
• オプティクスやレーザーのポジショニングに最適な PXY15/16/36 及び Scan XY40
• 高速セッティング
• 優れた長時間位置安定性

XYZ軸ステージ　TRITOR シリーズ

超コンパクトの3次元ステージで、移動量はいずれの軸でも 最大400μm です。機械的な遊びのない平行度の高い動作が得られます。クローズドループも可能です。他の装置への組込みが容易で、研究用途からOEMまで幅広いアプリケーションに使用できます。

• 移動量： 9～400μm
• 中心穴付きまたは穴無しデザイン
• センサ付きフィードバックオプション
• コンパクトサイズ
• 1nm未満の高い分解能

5軸ステージ PENTOR

17mm 径の中心穴付き5軸傾きステージです。移動量は X, Y, Z軸で 100μm、直交する2つの傾き調整軸が ±2mrad です。

X, Y, Z軸動作は湾曲ヒンジ機構によるもので、高い平行度が得られます。各軸にはメカニカルプリロードが搭載され、ダイナミクス・アプリケーションに最適です。また温度変化に強く、傾き角度が周辺温度に影響されません。

硬性湾曲ヒンジの主要な部品はステンレス製、トップ／ボトムプレートはアルマイト製です。オプションとして、ひずみゲージ測定機構を搭載できます。

• X, Y, Z軸移動量： 100μm
• 傾き軸（2軸）移動量： ±2mrad
• 中心穴付き： 17mm径
• プリロード内蔵
• 機械的遊びのない高い平行度
• 測定機構搭載オプション

回転ステージ ROTOR

ピエゾ駆動による高い分解能と、高い中心軸精度をもつ1軸の低電圧回転ステージです。ステアリング及びスキャンレンジは 最大 11mrad です。力学的性能ににも優れ、コンパクトパッケージながら大荷重でも高精度な動作が得られます。また硬性湾曲ヒンジによるモノリシック・ガイドで、機械的遊びや摩擦が少なくなっています。

• 回転量： 最大 11mrad
• 優れた力学的性能
• 高い平行度
• 高い中心軸精度 0.2µrad
• 分解能 0.02µrad
• 3mm径開口
• 温度補正機能内蔵