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（株）日本レーザー

ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈計量学〉

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ピエゾシステムイエナ社の光学機器
〈アプリケーション例〉

このセクションでは計量・計測におけるピエゾアプリケーションへの推奨システムをご紹介します。Piezosystem jena製品は様々な重量のコンポーネントのナノポジショニングに最適です。

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（株）日本レーザー

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

【URL】https://www.japanlaser.co.jp/

製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。　03-5285-0861

ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション〉
－計量学－

アプリケーション	推奨システム
ナノ位置決め小部品 500グラムまで	ケース付きスタックアクチュエータ　PAシリーズ X軸ステージ　PXシリーズ Z軸ステージ　PZシリーズ XY軸ステージ　PXYシリーズ XYZ軸ステージ　TRITOR シリーズ 5軸ステージ　PENTOR マイクロメータスクリュードライブ　MICIシリーズ
ナノ位置決め部品 1000グラムまで	ケース付きスタックアクチュエータ　PAHLシリーズ X軸ステージ　PX，PUシリーズ Z軸ステージ　PZシリーズ XYZ軸ステージ　TRITOR シリーズ NanoX 高速ポジショナ

白色光干渉計用ピエゾポジショナ


	MIPOS 16-158白色光干渉計用に設計

白色光干渉計は三次元表面計測のための最も効率的な手法の一つです。ピエゾアクチュエータは事実上制限のない高い精度と高速応答により、この白色光干渉計の精度と速度を大幅に向上させることができます。
piezosystem jena社の新製品MIPOS 16-158は、サブナノメートルの分解能をもつ光学システムの高精度ポジショニング用に特別に開発されています。MIPOS 16の高い分解能と高速応答性は干渉計の新たな可能性を導くものです。独自の設計を元に開発されたMIPOS 16-158は、開口104 mm、ステージ高さ42 mmで、白色光干渉計に最適な仕様を提供します。焦点距離は最大16μmまで、ステップ分解能0.1nm未満で、この場合の駆動電圧は-20～130Vです。計量・計測用のセットアップやデバイスへの組込みを想定して設計されています。

堅牢なドライバ付きの高分解能ピエゾによるアクチュエータシステムで、内部のメカニカル・プリロード設計により、整定時間をミリ秒単位まで抑えながらハイダイナミック環境で駆動できます。さらに重要な特長は3kgもの高い負荷容量です。光学セットアップ及びコンポーネントを、精度・速度に影響を与えることなく水平・垂直に動かすことができます。
MIPOS 16-158はアナログの低電圧シグナルで簡単にコントロールできます。piezosystem jena社では多彩な低ノイズアンプも提供しています。

	MIPOSシリーズ

	レンズフォーカシングデバイス： MIPOSシリーズアクチュエータは微小対物レンズの精密調整やレボルバ全体の調整 (MIPOS N90) 用に設計されています。可動範囲は20～500μm です。位置精度と分解能が非常に高く、最先端の顕微鏡へのアップグレードに最適です。

	●	焦点距離最大500μm
	●	標準的な顕微鏡全てに対応可能なスレッドサイズ
	●	フレックス-アダプタ機構で組込み/取出しが簡単
	●	チューブ拡張用スペーサーリング
	●	倒立/正立の両顕微鏡に対応

スレッドサイズ対応: MIPOS システムは、カールツァイス、ライカ、ニコン、オリンパスの標準的な微小対物レンズサイズに対応しています。交換可能なスレッドアダプタにより、W0.8x1/3”から M32x0.75 までのあらゆるシングルスレッドサイズ合わせてMIPOSを簡単に調整できます。

PXY APシリーズ　ナノメートル精度XYサンプルスキャニングステージ

PXY APシリーズはプローブのナノメートル精度の高速XY位置決め用に設計されています。このポジショニングステージは、顕微鏡ステージの上にマウントしたり、倒立型顕微鏡ではスタンド自体に取り付けることもできます。
内側の大きな開口 (100×100mm) にはプローブをマウントできます。可動範囲は24～700μmからご指定いただけます。

●	顕微鏡への組込みを想定した省スペースな形状（高さ16 mm）
●	スライド、ペトリ皿、SBSなどのサンプルポジショニングに
●	動作軌道を使わない高速ラインスキャンに最適
●	顕微鏡のステージやスタンドに取り付け可能

主な応用例: PXY APシリーズステージはあらゆる高分解能顕微鏡や顕微鏡のようなセットアップを用いたアプリケーションに最適です。

ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉


ビームシャッター	光ファイバ	ライフサイエンス（生命科学）

マテリアルサイエンス（物質科学）	機械工学	計量学

顕微鏡検査	ナノ位置決め	光学

半導体	バルブ技術	オートフォーカス装置（自動焦点装置）