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（株）日本レーザー

スタックアクチュエータ

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その他 分散装置 マーキング

多層セラミック技術をもとにした
スタック型ピエゾアクチュエータ

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
・長寿命
・クローズドループ対応
・真空、極低温対応

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（株）日本レーザー

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

【URL】https://www.japanlaser.co.jp/

製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。　03-5285-0861

概要

多層セラミックを用いたスタック・アクチュエータは、特殊エポキシシーリングにより、高い柔軟性と長寿命を実現しています。
セラミックスタックのサイズに依存して、アクチュエータの耐負荷量は数kNまで高めることができます。
分解能はピエゾ素子の特徴によってシグナルノイズにのみ制限されるため、高い耐負荷量でも高い分解能を保持できます。
piezosystem jena 社のスタックアクチュエータは、ナノポジショニング、測量、高速バルブ作動、ミラーの移動や傾き調整、ファイバストレッチング、オシレーション発生、除振など、広い分野で応用されています。
オプションでひずみゲージ・フィードバックセンサがご利用いただけます。
また真空や極低温にも対応可能です。

ラインナップ

	ハウジング無しスタックアクチュエータ　Nシリーズ動作距離：2～123μm 最大発生力：3500N ケースなし。10cm 長ケーブル付属プリロード付き。動的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　Pシリーズ動作距離：9～82μm 最大発生力：850N 最大電圧：+130V プリロード無しステンレス製ケース静的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　PAシリーズ動作距離：最大220μm 最大発生力：850N 最大電圧：+130V メカニカルプリロード付きステンレス製ケース動的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　PA/Tシリーズ動作距離：42～105μm 最大発生力：850N 最大電圧：+130V ネジ山付き（M14x1）ステンレス製ケースメカニカルプリロード付き動的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　PHLシリーズ動作距離：20～103μm 最大発生力：3500N 最大電圧：+130V 静的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　PAHLシリーズ高耐荷重ステンレス製ケース動作距離：21～200μm 最大発生力：3500N 最大電圧：+130V 動的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　HP/HPAシリーズ高耐荷重ステンレス製ケース動作距離：40～260μm 最大発生力：70000N 最大電圧：1000V 大きな荷重向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　P/Sシリーズハーメチックシールドステンレス製ケース動作距離：18～70μm 最大発生力：3400N 最大電圧：+130V 低負荷の動的用途向き
	ケース付きスタックアクチュエータ　R/RAシリーズステンレス製ケース、またはケース無し動作距離：12～50μm 最大発生力：4000N 最大電圧：+130V 内径：最大12mm レーザー共振器に最適

			（採用例）ウエハ検査システム内でのウエハの高精度ポジショニング
			（採用例）赤外波長での走査型近接場光学顕微鏡
			（採用例）ピエゾシステムスキャナを用いたナノライフAFM システム
			顕微鏡アプリケーション向け製品

ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉


ビームシャッター	光ファイバ	ライフサイエンス（生命科学）

マテリアルサイエンス（物質科学）	機械工学	計量学

顕微鏡検査	ナノ位置決め	光学

半導体	バルブ技術	オートフォーカス装置（自動焦点装置）