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「PHT株式会社 登録製品一覧」
PHT株式会社 登録製品一覧
- 対象件数7件
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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄~ウェーハ剥離~ウェーハ枚葉洗浄~乾燥~カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄~スクラブ洗浄~リンス洗浄~吸水ローラ乾燥~スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段~又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。
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ウェーハ搬送ロボット
クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 -
石英ガラスウェーハ移載装置
本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①~ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。
基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。
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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
半導体洗浄装置は、半導体製造工場の各種工程で使用されます。シリコンウェハ上に半導体素子を形成する前工程でも素子を切り離し、パッケージ化して最終製品を製造する後工程でも使われます。
特に前工程では、ウェハ表面の汚染物質や付着物が半導体の品質や歩留まりに与える影響が非常に大きいです。そのため、ウェハ上に酸化膜・薄膜を形成する工程の前、成膜工程の後、エッチング工程の後など、非常に多くの段階で半導体洗浄装置が使われています。 -
ウェーハカセットチェンジャー
本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。