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製品詳細
PHT株式会社
ウェーハカセットチェンジャー
プロセス装置本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。
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【所在地】〒115-0045東京都北区赤羽1丁目41番12号
【電話番号】03-6751-7153 【FAX番号】03-6761-8935
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