製品詳細

PHT株式会社

ウェーハカセットチェンジャー

プロセス装置

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。

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PHT株式会社

【所在地】〒115-0045東京都北区赤羽1丁目41番12号

【電話番号】03-6751-7153 【FAX番号】03-6761-8935