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製品詳細
PHT株式会社
EFEM・ソータ
プロセス装置EFEM (Equipment Front End Module)
FFU(Fan Filter Unit)を備えたフレーム内に大気搬送ウェーハロボットを設置し、前面にロードポートを取り付けたモジュール機器。
プロセス装置の前面に設置される。
- PHT株式会社
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【所在地】〒115-0045東京都北区赤羽1丁目41番12号
【電話番号】03-6751-7153 【FAX番号】03-6761-8935
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