クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。