本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャリアです。
基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。