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製品詳細
PHT株式会社
ウェーハ搬送装置
プロセス装置次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g~700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。
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【所在地】〒115-0045東京都北区赤羽1丁目41番12号
【電話番号】03-6751-7153 【FAX番号】03-6761-8935
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