・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
・長寿命
・クローズドループ対応
・真空、極低温対応

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。
複数のポジショナを組み合わせることも可能。

・2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用
・高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適

LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空／極低温対応可能

・顕微鏡用対物レンズマウント
・アプリケーションごとに選べるチップ＆チルト・ミラーマウント
・最大開口1500μmの光シャッター／スリット
・使い易いファイバポジショニングシステム
・マイクロメータスクリュードライブ
・グリッパー

・ピエゾ素子による高速＆高精度ファイバカップリング
・標準 1～9チャンネル
・モジュールのカスケード接続で100以上までチャンネル数を増設可能
・対応ファイバコア径 50～600μm
・内部光学部品無し： 紫外から赤外までカバー

圧電素子（ピエゾ）ステージ、
顕微鏡検査、ナノ位置決めなど
幅広い分野・アプリケーションで使用できる