このセクションでは顕微鏡関連のピエゾアプリケーションの概要と推奨システムについて記述します。応用例は、サンプルの位置決め、走査型AFM、ラマン、SNOM、電子ビーム、マイクロレンズ/マイクロ対物レンズの位置決め等です。

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このセクションでは半導体分野におけるピエゾアプリケーションの概要と推奨システムについて記述します。Piezosystem jena製品はマスクアライメント、リソグラフィ、ナノメトロロジー、ウエハ検査、ウエハ位置決めに使用できます。

このセクションでは半導体分野におけるピエゾアプリケーションの概要と推奨システムについて記述します。Piezosystem jena製品はマスクアライメント、リソグラフィ、ナノメトロロジー、ウエハ検査、ウエハ位置決めに使用できます。

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・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現 ・長寿命 ・クローズドループ対応 ・真空、極低温対応

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。 複数のポジショナを組み合わせることも可能。 ・2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用 ・高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。 複数のポジショナを組み合わせることも可能。 ・2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用 ・高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適