製品詳細
IBPテクノロジー(株)
Conax 半導体装置向け温度センサー
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米国製・半導体装置の高温測定に
米国装置メーカーに適合する温度センサー
ASM Epsilon Reactor® 向け熱電対、Applied Materials /Moore Technologies Barrel Reactor向け3点式熱電対など。
モリブデンシース・プラチナ熱電対、クオーツシース・プラチナ熱電対、3点棚測定温度センサーなど、日本に輸入されているアメリカ製半導体装置に設置されている熱電対・RTD製品及び対応品となります。
アメリカConax Semiconductor社の製品です。
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Conax Semiconductor社は下記米国装置メーカーに適合する長寿命のセンサーを開発致しました。 |
ASM Epsilon 用温度センサー
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新技術! センサーの寿命を最大で3倍延ばす! |
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)コーティング技術は、大学の研究室、ヨーロッパ大手ウェハメーカーの製造設備にて、数年間にわたり検証された結果、非常に信頼性の高い技術であることが証明されています。 |
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Moore Technologies/Applied Materials バレルリアクタ用3点式、1点式温度センサー
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