製品詳細

IBPテクノロジー(株)

ASM Epsilon® 用温度センサー

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ポンプ ファインセラミックス

新技術!
センサーの寿命を最大で3倍延ばす!

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IBPテクノロジー(株)

【所在地】〒650-0047兵庫県神戸市中央区港島南町5-5-2

【電話番号】078-304-5031 【FAX番号】078-304-5032

【URL】http://www.ibptech.jp

EtchDefender TM(エッチディフェンダー)の特長

EtchDefender TM(エッチディフェンダー)コーティング技術は、大学の研究室、ヨーロッパ大手ウェハメーカーの製造設備にて、数年間にわたり検証された結果、非常に信頼性の高い技術であることが証明されています。
ウエハへの異物付着の低減
石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。
耐久性
真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。
失透速度のスロー化
900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。
浸食速度のスロー化
石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。
ロングライフ
このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。

センサー寿命を最大3倍まで伸ばし、35-45%のコストダウンが実現する!
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、特許出願中の、石英シースの寿命を伸ばすために最適なご提案です。
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、石英管のコーティング技術であり、この技術は、石英管の寿命を最大3倍まで延ばすことで、35-45%のコストダウンを実現することができます。
CONAX社が開発したEtchDefender TMコーティング技術は、大学の研究室、大手ウエハメーカーの製造設備にて検証を繰り返して達成した信頼性ある技術です。

比較結果
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)コーティングされた石英管は、標準品の1.5倍以上のウェハ処理に耐えられます。
このセンサーは、まだ、寿命の半ば程度の段階です。

生産性の向上とリスクの軽減

センサー交換のためのメンテナンスサイクルを減らし、より長く連続して装置を運転することで、より多くの時間を製造工程に費やすことができます。
EtchDefender TM コーティング石英シースを使うことで、メンテナンスの回数が減り、様々なリスクを軽減することができます。
メンテナンスサイクルを減らすことは、チャンバー内の汚染を減らし、洗浄のための時間やコストの削減につながります。

◆特徴
ASM Epsilon® 150mm, 200mm, 300mmに対応
ANSI Special (JIS クラス1相当) Rタイプ熱電対
石英は半導体グレードのGE214を使用
短納期
全てのセンサーのコネクタにレーザー刻印でシリアル番号を付加

◆その他のオプションサービス
石英管の交換が可能
白金の引き取りシステムが可能


◆IBPテクノロジーの製品ラインナップ
Conax シーリンググランド
Conax 半導体装置向け温度センサー
ASM Epsilon® 用温度センサー
Kemlon グラスシール/モールドコネクタ
セラミック製充填ポンプ 薬液充填機用ポンプ(NEOCERAM社)
液体充填機用ステンレスポンプ
充填ノズル、充填針・洗浄針
テクニカルセラミックチューブ
工業用セラミック製品(ファインセラミック)
ハニカムセラミック
Mirion社 放射線モニタ製品
ファーマシン社 打錠機用 杵・臼
小型打錠機 ロータリータブレットプレス Mini
温度データロガ-ITAG®4
温度データロガ-ITAG®3 Pro
温・湿度データロガー Alpha TH30
温度データロガー Alpha TD80
アイソレーター/グローブボックス用グローブ
MEISSNERシングルユースシステム One-Touch®
溶融亜鉛メッキライン用ベアリング WEARGUARD®

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