製品詳細｜プリズム製品・サービスを検索するサービス

ホーム
製品詳細

製品詳細

IBPテクノロジー（株）

ASM Epsilon® 用温度センサー

メーカーの製品情報サイトはこちら

ポンプ ファインセラミックス

新技術！
センサーの寿命を最大で3倍延ばす！

この企業の登録製品はこちら

IBPテクノロジー（株）

【所在地】〒650-0047兵庫県神戸市中央区港島南町5-5-2KIBCビル2F

【電話番号】078-304-5031 【FAX番号】078-304-5032

【URL】http://www.ibptech.jp

EtchDefender ^TM（エッチディフェンダー）の特長

EtchDefender ^TM（エッチディフェンダー）コーティング技術は、大学の研究室、ヨーロッパ大手ウェハメーカーの製造設備にて、数年間にわたり検証された結果、非常に信頼性の高い技術であることが証明されています。

	●	ウエハへの異物付着の低減
		石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。
	●	耐久性
		真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。
	●	失透速度のスロー化
		900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。
	●	浸食速度のスロー化
		石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。
	●	ロングライフ
		このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。

センサー寿命を最大3倍まで伸ばし、35-45%のコストダウンが実現する！

EtchDefender ^TM（エッチディフェンダー）は、特許出願中の、石英シースの寿命を伸ばすために最適なご提案です。
EtchDefender ^TM（エッチディフェンダー）は、石英管のコーティング技術であり、この技術は、石英管の寿命を最大3倍まで延ばすことで、35-45%のコストダウンを実現することができます。
CONAX社が開発したEtchDefender ^TMコーティング技術は、大学の研究室、大手ウエハメーカーの製造設備にて検証を繰り返して達成した信頼性ある技術です。

比較結果

EtchDefender ^TM（エッチディフェンダー）コーティングされた石英管は、標準品の1.5倍以上のウェハ処理に耐えられます。
このセンサーは、まだ、寿命の半ば程度の段階です。

生産性の向上とリスクの軽減

センサー交換のためのメンテナンスサイクルを減らし、より長く連続して装置を運転することで、より多くの時間を製造工程に費やすことができます。
EtchDefender ^TM コーティング石英シースを使うことで、メンテナンスの回数が減り、様々なリスクを軽減することができます。
メンテナンスサイクルを減らすことは、チャンバー内の汚染を減らし、洗浄のための時間やコストの削減につながります。

◆特徴

	●	ASM Epsilon® 150mm, 200mm, 300mmに対応
	●	ANSI Special （JIS クラス1相当） Rタイプ熱電対
	●	石英は半導体グレードのGE214を使用
	●	短納期
	●	全てのセンサーのコネクタにレーザー刻印でシリアル番号を付加