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- 製品詳細
製品詳細
（有）シスコム
振動変位解析装置 MEMSMap/VibroMap
光学測定 光学測定 試験機器 長さ/角度/形状/圧さ測定 長さ/角度/形状/圧さ測定 その他 その他理化学関連機器 画像計測/解析機器 画像素子/部品 その他 その他 表面処理技術/機器 評価/計測機器 材料/素材 MEMS3D MEMS用振動・変位解析装置、面外振動・面内振動を同時に測定！位相情報をリアルタイムで確認可能！
面全体の振動変位のリアルタイム測定！
高感度測定（1nm）など
面内振動・面外振動を同時に測定。高周波240MHz対応。鏡面・粗面でも測定可能。位相情報をリアルタイムで確認が可能。
- （有）シスコム
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【所在地】〒171-0014東京都豊島区池袋４－２７－５和田ビル
【電話番号】03-6907-9105 【FAX番号】03-6715-8740
| 高周波数240MHzまで対応 位相情報も含めてリアルタイムで確認可 1nmから測定可能 |
| メムスマップ510は微小測定物（0.1mm以上）の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。 測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレン スレーザーとの間で干渉縞を作成します。この干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込み ます。メムスマップは測定物の振動と変形を、リアルタイムモードおよび位相 変調法の2つの異なる手法で測定することができます。 リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上にフリンジパターン （等高線図）でオーバーラップさせて表示します。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。 また位相変調法を用いると、振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的および定性的な振動・変位解析を行うことができます。 |
| ◆特長 | |
| ● | 静的変形測定 |
| 下図は寸法3×3mmのシリコンメンブレンのガス圧力により変形されたときの 変位モードです。リアルタイムで測定物上にフリンジパターンをオーバーラップ し変位量が表示されるので、変位解析が簡単に確認できます。 測定感度は位 相変調法を使用することにより、約1nmに高めることができます。 |
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| ● | シングル周波数振動測定（高周波対応 最大1GHz） |
| 下のアニメーションは超音波部品14.3MHz & 水晶振動子4.1MHzでの振動モードの3Dプロット例です。 この3Dプロットは実際の振動状態の位相情報も含まれており、位相情報 を0から2πまで変化させることにより、測定物の振動状態をアニメーションで確認することができます。 振動測定で位相変調法を使用するとき、マイクロマップは測定物の加振周波数も同様にコントロールし、振動振幅は約1nm,周波数範囲は数百メガヘルツまで測定可能です。 |
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| ◆基本仕様 |
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