表面形状、粗さの高速面計測に

・面計測　・高分解能　・高精度　・高速

表面形状、粗さの高速面計測に

・面計測　・高分解能　・高精度　・高速

Ｓｉ及びＧａＡｓ、ＳｉＣ、サファイア等の非接触厚み測定に最適。

＜ＣＨＲｏｃｏｄｉｌｅ　ＩＴ１８－３０００＞

●Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、サファイア等半導体ウェハ以外にもフイルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、ギャップセル、太陽電池等各種膜の非接触厚み測定に最適。

●加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能。

■測定例
粗い面の部品や金属、紙の表面形状、液面高さ
ガラス、ボトル、フイルム、樹脂膜、接着剤等
非接触厚み測定に最適
■加工プロセスにおいて
リアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能
■オプションで干渉膜厚み対応可能
■対象物の傾きにも測定可能で角度特性を実現（最大±45℃）
■測定レンジ：形状計測　3nm～25mm
　　　　　　　　　厚み計測　2μm～25mm
■スポット径が小さく細かい測定も可能（最小焦点ｽﾎﾟｯﾄ3μm）

ＣＨＲｏｃｏｄｉｌｅ　ＳＥ
表面形状、粗さやガラス、ボトル、フイルム、樹脂、接着の非接触計測に。

お気軽にお問合せください。

非接触で楽々測定！
薄ウェハー測定でお困りの方お待たせしました。　

・Si、GaAs、SiC、サファイア等半導体ウェハー、フィルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、ギャップセル、太陽電池等各種膜の非接触厚み測定に最適。　
・加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能。　
・上記以外に厚手Ｓｉウェハー（10～1,000μm）、ボロンドーブ、粗ウェハー用、形状測定用センサーもございます。
・ウェットエッチング等のインプロセス向け特殊用途にもカスタム対応可能です。　

気軽にお問い合わせ下さい。

表面形状、粗さやガラス、ボトル、フィルム、樹脂、接着の非接触計測に　
・粗い面の部品や金属、紙の表面形状、液面高さ、ガラス、ボトル、フィルム、樹脂膜、接着剤等　非接触厚み測定に最適。　・加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能。　
・対象物の傾きにも測定可能で角度特性を実現。（最大±45°）　
・測定レンジ：形状計測/3nm～25nm 厚み計測/2μm～25mm　
・スポット径が小さく細かい測定も可能。（最小焦点スポット/3μm）　

上記以外にも半導体向けウェハ厚みセンサーもございます。気軽にお問合せください。

各種膜に最適：Si、GaAs、SiCｌ、サファイアなど半導体ウェハ、フィルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、太陽電池等　

加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能です。　
極薄ウェハ用、ボロンドーブ、粗ウェハ用センサーもございます。　
ウェットエッチング等のインプロセス向け特殊用途にもカスタム対応可能です。

ヒ素・リン・ボロン・ポリマー系のドープウェハ研磨・研削厚み検査用　

■ドープ品測定でお困りの方！
お待たせしました！　
CHRocodile IT-DW新発売！　

測定例：ボロンドープ厚み8～350um ※濃度や材質によります。　

●予約受付中！！　
3日間無料装置貸出しキャンペーン　
専用ソフトウェア付　
測定対象物のドープ化合物名、濃度（抵抗率）をお聞かせください。
測定できる厚みを計算致します。

測定周波数4KHzの高サンプリング　干渉原理使用　光源：SLDを使用　品質管理及びインラインモニタリングに　1つのプローブで非接触にて厚み計測可能　システム統合も可能　各種インターフェイス用意しPCに取込が容易（RS232、USB、analog output等）　測定レンジ：10μm-1mm　左記より薄膜にも対応可能です　精度：0.3μm

部品・筐体・パターンの形状測定に　ガラス・フィルム・ホイルの厚み測定に　　測定周波数4KHzの高サンプリング！　品質管理及びインタインモニタリングに！　この1台で形状と厚み、薄膜モード切替可能！　プローブ各種を用意（小型・直角タイプ有）　システム」統合も可能