ウエハー、太陽電池の厚み計測

測定周波数4KHzの高サンプリング　干渉原理使用　光源：SLDを使用　品質管理及びインラインモニタリングに　1つのプローブで非接触にて厚み計測可能　システム統合も可能　各種インターフェイス用意しPCに取込が容易（RS232、USB、analog output等）　測定レンジ：10μm-1mm　左記より薄膜にも対応可能です　精度：0.3μm