「Xyθステージ」に「Z軸」をビルトイン！　ワークの高精度位置決めはもとより、ワーク間のギャップ調整　カメラのフォーカス調整などに威力を発揮します。　　ダブルスライド機構による「薄型アライメントステージ」に「高精度Z軸機構」をビルトイン。　パラレル構造のため、精度が平均化され高精度な位置決めが可能です。

Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステー

Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステー

高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステージへの対応が容易　　　

高さの微小調整や水平レベルの調整が可能　“フレキシブルジョイント付きZ軸アクチュエータ”は、定盤やアライメントステージの水平レベルを調整する高剛性の伝動小型製品です。傾斜機構利用の焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台のほか、傾斜制御治具や小型のZ軸位置決め機構に最適。　　球面受託加工賜ります！　摺動部品に対応　摺動部材のテストピースに　ロボットの関節に

高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステージへの対応が容易　　　

高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め

Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間

最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め精度が6倍に高めた新機構　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　　スキマゼロの転がり案内によって高剛性、高精度を実現！　　高剛性、高精度　多自由度軸受の小型化　チルト機構・水平出し機構への応用　超精密球面加工技術

エアーOFF＝クランプ　エアーON＝リリース