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製品詳細
ヒーハイスト精工(株)
超薄型・小型XYθ(アライメント)ステージ
組立装置 軸受 機構部品 構成部品超薄型・小型XYθ(アライメント)ステージ 4軸駆動Xyθ(アライメント)ステージ 球面軸受SRJ
高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 最大寸法2300mm角(高さ200mm)まで対応 3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め
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