Z軸機構付きXyθ（アライメント）ステージ

「Xyθステージ」に「Z軸」をビルトイン！　ワークの高精度位置決めはもとより、ワーク間のギャップ調整　カメラのフォーカス調整などに威力を発揮します。　　ダブルスライド機構による「薄型アライメントステージ」に「高精度Z軸機構」をビルトイン。　パラレル構造のため、精度が平均化され高精度な位置決めが可能です。