各種膜に最適：Si、GaAs、SiCｌ、サファイアなど半導体ウェハ、フィルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、太陽電池等　

加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能です。　
極薄ウェハ用、ボロンドーブ、粗ウェハ用センサーもございます。　
ウェットエッチング等のインプロセス向け特殊用途にもカスタム対応可能です。

用途やスペースに最も適した仕様・性能の装置をスピーディにご提供します。　

京都工場内にはデモ機を設置　
実際に加熱実験がおこなえます。　

ご希望の素材をお持ちいただければ条件や用途に応じたテストがおこなえ、結果を確認してから仕様を決めることができます。　

容量：1～350ｋVA、
周波数：Max.100Hzまで
幅広い範囲の仕様で製作できます。

■マスクに付着した1μm以上のパーティクルと
　レジスト残渣を一挙に完全除去。

（１）薬液洗浄→リンス→ソフトスクラブ洗浄→
　　リンス→乾燥の全工程を自動化。

（２）オペレーターはマスクを脱着するだけ。

（３）フォトマスクのクリーン化で露光プロセスの
　　品質向上と歩留り向上に大きく貢献。

ダイシング／分割後のチップハンドリングが著しく向上します。

ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げます。

•印字スピードMAX80mm/secを実現（ラベル仕様は60mm/sec）
•コンパクト、軽量設計により簡単設置
•ミニサイズながらオートカッターを搭載
•用紙交換が簡単なペーパードロップイン機構採用
•VCCIクラスB取得の高信頼性
•二次元コードPDF417、QRCodeを標準搭載
•ユーティリティー・ソフトにて各種カスタマイズが可能
•選べるボディーカラー（ホワイト、ブラックの2種類）　※ブラックは受注条件があります
•ラベル/ブラックマーク仕様も対応（L仕様）
用途

小型液体ポンプ
小型コンプレッサー
小型真空ポンプ

安価な業務用デジタルトルクレンチ。締付のトルクを最大10点登録可能。目標トルクに達するとブザーとLEDで締め付け完了を知らせます。表示部右側のLEDインジケーターは直感的に締め付け具合や合否の確認が行なえます。電池は単３を使用し、待ち時間不要です。

1台のロボットが複数ガン装着可能。スプレーマン数人分の仕事に相当。天吊り移動型の為に省スペース化を実現。回転塗装Rの技術を採用することで、薄膜の多重塗りが完成。高品位塗装膜が可能です。

プラズマ処理装置ラインナップ
　レンタル/受託OK!!　

粉体プラズマ処理　真空プラズマ　大気圧プラズマ　

■用途　
・接着：樹脂・金属・各種液晶基板の接着強化　
・洗浄　ガラス・半導体レジスト除去　
・微細加工　ドライエッチング処理　
・塗工　印刷・メッキ・染色など　
・製膜　SiO2膜・C膜を製膜　
・その他　粉体やチューブ内壁処理　　

●初回のデモ処理無料！！　
専任の技術者が対応　
研究開発支援、小ロット・短納期可

カールストルツが豊富なラインナップから最適な工業用内視鏡をご提案致します。　

ボアスコープ　
光源内蔵コントローラ　
ビデオスコープ　
ファイバースコープ　
管検査カメラ

チューブ加熱　樹脂、金属等の微細部品の加熱加工に最適　

■主要取扱品目　
1.スイッチングACアダプタ　各種取扱（5～90Ｗクラス）
2.LED照明用電源（6～150Ｗクラス）　
3.オープンフレームスイッチング電源各種（5～60Ｗクラス）　

■人材募集　
・直流安定化電源装置の技術サポート募集中　
・品質サポート（中国工場勤務）募集中

実績　
1.原子炉解体用6軸マニピュレータ制御（下図右）　
2.新規垂直多関節6軸ロボット制御　
3.直行2軸、天吊アーク3軸ロボット制御（ピック＆プレース用）
4.ロボットファイル変換　例：KAWASAKI→MOTOMAN）
　
5.コントローラコマンドによるリアルタイム処理
（例：MotoPro）

■用途：
・アーク溶接　
・カット　
・バリ取り　
・組付け　
・塗装　
・研磨　
・糊付け　
・コンベア　

■機能：
・3DCADデータからのティーチング　
・主要ロボットメーカーのモデル対応　
・自動ティーチングの為、操作は簡単　
・キャリブレーション、干渉チェック等

三菱ガス化学は、優れた技術力と豊富な経験を活かして最先端のパッケージ製造をサポートしてまいります。　

■層間絶縁樹脂層前処理粗化エッチング剤　
「クリーンエッチCPER-2000（開発品）」　

■エポキシ系積層前処理粗化エッチング剤　
「クリーンエッチEMR-7000」　

■エポキシ系積層前処理粗化エッチング剤　
「クリーンエッチEMR-5000」　

■セミアディティブ工法専用フラッシュエッチング剤　
「CPE-850」

・コンセントに対応のブレーカーを瞬時に識別　
・多数のケーブルから目的線を確実に検出　
・壁・天井裏の配線路も余裕の受信範囲3m　
・0～600VACに対応で探索距離も7km　
・端末の短絡や電圧の供給は不要です！　
・断線・短絡・地絡箇所の検出　

■非接触で探索信号を送信　
・ケーブル途中から送信可能　
・データ線・制御線にも安全送信　

PTR600　2年間完全保証

製造ラインの効率化は工程間立体搬送クレーンが解決！　

コンベヤ搬送・垂直搬送機搬送　
フォークリフト搬送　
無人搬送車　→　
工程間搬送機器を集約　

■工程間立体搬送のシステム化、自動化を実現　
■ホッパー、フィルム、パネルなどの多様な荷姿に対応　
■計量機、混練機、洗浄機等の取合い実績多数　
■原料・素材供給から充放電まで様々なシーンで活躍
■食品、医療、二次電池、太陽電池産業な多業種に導入中

■ステッパ・モータ
AMシリーズ　
・エンコーダ不要の費用対効果の高い位置決めドライブ　・高出力密度　
・動作寿命の長さ　
・電流モード・チョッパ・ドライバの使用で最高速度16,000rpm　

ADMシリーズ
・薄いディスク・マグネットで構成された極小慣性ロータ　
・高い角度精度を実現　
・高出力密度　
・動作寿命の長さ　
・動作温度範囲の広さ　

■リニアサーボモータ
マイクロ位置決めアプリケーションに理想的！
モーションコントローラとユーザーフレンドリーなモーションマネージャーソフトウエアのコンビネーションで簡単に起動します。
直線的な動作と位置決めアプリケーションの扱いが簡単になります。

特長：
・15/40mmのストローク
・1.03Nまでの連続パワー
・2.74Nまでのピークパワー
・最高加速度206.9m/S2
・最高速度2.4m/S

ご注文は1個からお受けします。

■排気用防水保護プラグ　
■防水イーサネットコネクタ　
■六角ねじ込みホールプラグ　

国際防水等級IP68/50m合格　
水面下で使えるケーブルグランド　

・合計約10,000品番の豊富さは多用途・多仕様に対応　
・取付：PF・PG・NPT・Mネジ各種の国際仕様　
・ケーブル：φ1～φ77ｍｍ、2～8芯線、平形コードにも対応できる驚くべき広いレンジ　
・外部の水・油・塵から内部の電子回路・精密部品を完璧に保護　
・ナイロン・PP・SUS・真鍮・亜鉛D、汎用・耐熱・耐触仕様の豊富な材質バリエーション　
・世界初！プラスチックグランド特大サイズM90・ミニサイズMB登場！