水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　ISO14001の取得に役立ちます　産廃棄経費節減100万円以上　　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

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イオン性物質の分離・精製に役立つ・・・　樹脂と比べて　長繊維状だから・・・・・・モジュール化が容易　・・・・・・装置化が簡単　反応速度が速いから・・・・・・効率的に処理が可能　・・・・・・再生も容易　具体的には　水中（空気中）から有害なイオン性物質を除去。　不織布、布、カット糸状等でお使いいただけます。

USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。　過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。　高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。　省スペース、デバイス製造コスト低減　φ75mm～φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。

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