「プロセス装置」
プロセス装置一覧
- 対象件数155件
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。
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大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ
最大-200℃以下まで冷却可能 真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。 残留ガスの水分圧を短時間に激減。 冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。 冷媒にヘリウムガスを使用。 様々な溶剤もトラップできます。 冷凍機としてもご使用になれます。 高真空排気に優れた効果を発揮! 世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載
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NEWコアレスリニアモータ/Hybridコアレスリニアモータ
NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現 Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応 半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用 高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能
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ニチビイオン交換繊維(IEF)
イオン性物質の分離・精製に役立つ・・・ 樹脂と比べて 長繊維状だから・・・・・・モジュール化が容易 ・・・・・・装置化が簡単 反応速度が速いから・・・・・・効率的に処理が可能 ・・・・・・再生も容易 具体的には 水中(空気中)から有害なイオン性物質を除去。 不織布、布、カット糸状等でお使いいただけます。
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NEWコアレスリニアモータ/Hybridコアレスリニアモータ
NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現 Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応 半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用 高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能
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大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ
最大-200℃以下まで冷却可能 真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。 残留ガスの水分圧を短時間に激減。 冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。 冷媒にヘリウムガスを使用。 様々な溶剤もトラップできます。 冷凍機としてもご使用になれます。 高真空排気に優れた効果を発揮! 世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載
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NEWコアレスリニアモータ/Hybridコアレスリニアモータ
NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現 Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応 半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用 高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能
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大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ
最大-200℃以下まで冷却可能 真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。 残留ガスの水分圧を短時間に激減。 冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。 冷媒にヘリウムガスを使用。 様々な溶剤もトラップできます。 冷凍機としてもご使用になれます。 高真空排気に優れた効果を発揮! 世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載
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大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ
最大-200℃以下まで冷却可能 真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。 残留ガスの水分圧を短時間に激減。 冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。 冷媒にヘリウムガスを使用。 様々な溶剤もトラップできます。 冷凍機としてもご使用になれます。 高真空排気に優れた効果を発揮! 世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載
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ニチビイオン交換繊維(IEF)
イオン性物質の分離・精製に役立つ・・・ 樹脂と比べて 長繊維状だから・・・・・・モジュール化が容易 ・・・・・・装置化が簡単 反応速度が速いから・・・・・・効率的に処理が可能 ・・・・・・再生も容易 具体的には 水中(空気中)から有害なイオン性物質を除去。 不織布、布、カット糸状等でお使いいただけます。
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。
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