水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　ISO41001の取得に役立ちます　産廃棄経費節減100万円以上　　レバー付きフロートにマグネットの磁力を加えて、弁の開閉の信頼性が向上しました。圧縮空気モレなし・ドレン水排出不能なし

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TOTOKUフィルターはキャンドル型フィルターです。切替わり性に優れ、省スペース化が実現できます。　ろ過条件に合ったスリット寸法を選定。　自動逆洗により分解洗浄なしで長期間運転。　材質にステンレス鋼（SUS316L）を採用。　均一なスリットで、薄く均一なプレコート。　細長いエレメントで小容量な多ろ材装着。　低価格での完全自動化が実現。

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セル生産現場でのダスト問題を解決　イオンの吹き出しによる素早い除塵　エアーカーテン＆ブロアファンによる集塵　抜群のイオンバランスにより、短時間で確実な除電と除塵が可能　外側エアーカーテンとブロアファンで塵の飛散と再付着を防止

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フィードバックシステム内蔵　無風除電（NO WIND OPERATION）可能　イオンバランス自己診断機能付き　半導体製造装置組み込み型　高精度除電　超薄型　フィードバックシステム内蔵　無風除電（NO WIND OPERATION）可能　イオンバランス自己診断機能付き　高精度除電　広範囲除電　強力除電

水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

マルチガステクノロジーにより濡れ性改善からエッチングまで対応　希ガス（Ar/He）の使用　高表面改質効果　ダイレクト方式の採用　高いスループットを実現　特殊誘電体電極・電源の採用　完全グロー放電の実現　電極長寿命化、ガス量削減　ランニングコスト大幅削減

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TOTOKUフィルターはキャンドル型フィルターです。切替わり性に優れ、省スペース化が実現できます。　ろ過条件に合ったスリット寸法を選定。　自動逆洗により分解洗浄なしで長期間運転。　材質にステンレス鋼（SUS316L）を採用。　均一なスリットで、薄く均一なプレコート。　細長いエレメントで小容量な多ろ材装着。　低価格での完全自動化が実現。

NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現　Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます　hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応　半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用　高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能

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