安全仕様・特殊仕様等、お客様からのあらゆるニーズにお応えします。




●8inch PEALD

●2inch Tｈermal ALD

●8inch Tｈermal ALD

安全仕様・特殊仕様等、お客様からのあらゆるニーズにお応えします。



●8inch PEALD

●2inch Tｈermal ALD

●8inch Tｈermal ALD

●除害装置、精製器等多彩なオプションにより付帯設備コストを低減！

●2～8inchのワークサイズに対応、あらゆるカスタム仕様にお答えします！

●成膜種、使用プリカーサ、マルチレイヤー等、御問い合わせ下さい。

8inch PEALD/2inch Thermal ALD/4inch Thermal ALD

S（Sillicon rubber）の実績
●面状発熱体として最も多彩な使用実績
●曲面への貼り付けも自由自在
●最長使用温度：200℃

M（Mica）の実益

●面状発熱体のとして最高の使用温度
●軽量化による電力コスト削減に実益
●最高使用温度：600度

P（Polyimide）の実力
●厚さ0.2ｍｍの極薄ヒータ
●抜群の応答性、高速昇温に実力発揮
●最高使用温度：250℃

【特徴】
●高速昇温、高速冷却可能
●金属アルミに近い熱伝導率
●熱膨張率が小さい
●電気絶縁性が高い
●優れた耐食性

【仕様】
●最高使用温度：500℃
●発熱体：タングステン
●製作可能寸法：100×100mm又はΦ100mm

特長
・コンタミレスのクリーンな加熱
・小型化・軽量化を実現しながら高効率も達成
・熱電対、サーモスタットを標準装備し省電力仕様
・IN/OUTの継手は変更可能
・定格流量　～100?/min
最高使用温度200℃ 2タイプ、300℃ 1タイプをラインナップ
・ModelS 最小タイプサイズ/98×75×75とコンパクト

特長：
・コンタミレスのクリーンな加熱
・小型化・軽量化を実現しながら高効率も達成
・熱電対、サーモスタットを標準装備し省電力仕様
・IN/OUTの継手は変更可能
・定格流量　～100ℓ/min
最高使用温度　200℃2タイプ、300℃1タイプをラインナップ
・ModelS 最小タイプサイズ／98×75×75とコンパクト

重力方向に対する変位角を検出　

〈主な用途〉　
■住宅、ビルの傾き　
■地盤沈下の検知　
■自販機・金庫の転倒の検知　
■クレーンの角度　
■車輌の角度・姿勢制御　
■車輌の坂道駐車認識　

〈仕様〉　
使用温度範囲：-10～+70℃　
動作角度：20・30・45・60度　
応答速度：0.1・1秒　2タイプ　
サイズ（mm）：W45×D35×H15　
ケーブル長：2000mm

重力方向に対する変位角を検出
〈主な用途〉　
■住宅、ビルの傾き　
■地盤沈下の検知　
■自販機・金庫の転倒の検知　
■クレーンの角度　
■車輌の角度・姿勢制御　
■車輌の坂道駐車認識　
〈仕様〉　
使用温度範囲：-10～+70℃　
動作角度：20・30・45・60度　
応答速度：0.1・1秒　2タイプ　
サイズ（mm）：W45×D35×H15　
ケーブル長：2000mm

振動に強く高速応答　重力方向に対する変位角を検出

振動に強く高速応答　重力方向に対する変位角を検出

Sの実績（Silicon rubber）　面状発熱体として最も多彩な使用実績　曲面への張り付けも自由自在　最高使用温度：200℃　　Mの実績（Mica）　面状発熱体として最高の使用温度　軽量化による電力コスト削減に実益　最高使用温度：600℃　　Pの実力（Polymide）　厚さ0.2mmの極薄ヒータ　抜群の応答性、高速昇温に実力発揮　最高使用温度：250℃

振動に強く高速応答　重力方向に対する変位角を検出

振動に強く高速応答　重力方向に対する変位角を検出

高精度が特徴の磁歪方式を採用　4-20mAのリニア出力　湯気や泡があっても確実にセンシング　フロートはステンレス製、PFA製も対応　　取付部M18の超小型磁歪センサ　AMP分離タイプのアナログ出力　側長範囲50mm～250mmまで対応

Sの実績（Silicon rubber）　面状発熱体として最も多彩な使用実績　曲面への張り付けも自由自在　最高使用温度：200℃　　Mの実績（Mica）　面状発熱体として最高の使用温度　軽量化による電力コスト削減に実益　最高使用温度：600℃　　Pの実力（Polymide）　厚さ0.2mmの極薄ヒータ　抜群の応答性、高速昇温に実力発揮　最高使用温度：250℃

PE樹脂製タンクにPP製フロートスイッチ搭載　5・10・20リットルタンクの３種類をラインナップ　フロートスイッチは満水・渇水の２点検知　液面制御が簡単にできるコントロールユニットも用意（オプション）　ステンレス製フロートスイッチも選定可能

Sの実績（Silicon rubber）　面状発熱体として最も多彩な使用実績　曲面への張り付けも自由自在　最高使用温度：200℃　　Mの実績（Mica）　面状発熱体として最高の使用温度　軽量化による電力コスト削減に実益　最高使用温度：600℃　　Pの実力（Polymide）　厚さ0.2mmの極薄ヒータ　抜群の応答性、高速昇温に実力発揮　最高使用温度：250℃

高精度が特徴の磁歪方式を採用　4-20mAのリニア出力　湯気や泡があっても確実にセンシング　フロートはステンレス製、PFA製も対応　　取付部M18の超小型磁歪センサ　AMP分離タイプのアナログ出力　側長範囲50mm～250mmまで対応