吸入・吐出弁を使用しない“バルブレス構造”を採用。
ガスロックする箇所を無くして、今までにない高精度・安心の微量注入を実現！

ムダをはぶき機能性・耐久性を徹底的に追求したスタイリッシュ設計。人と環境にやさしい、安心のタクミナ定量ポンプです。

超臨界流体の供給量を高精度に制御しながら供給できます。

厳選された無垢の樹脂素材を使用した厚肉一体成形。
高温の強酸性スラリー液など厳しい条件の液の移送に、その実力を発揮します。
耐食性・耐熱性・耐久性は抜群！
幅広いニーズに対応できる画期的なケミカルポンプです。

安全性・省エネ性・使いやすさを追求した
新機能を搭載

■装置内照明に求められる最高の明るさと広角度で自然な照射光を実現
・当社従来製品（CLT30-24S-C）比で明るさは約8倍
・発光部600mmの6Sタイプでは、照射距離2mで500lxを達成

業界最高レベルの薄さ
・本体厚23mmで取付け場所を選ばない構造
・側面をスラント形状でデザイン、水滴や油だまり、汚れの堆積を軽減

・設置性を高めるブラケットを付属
・配線接続を容易にするＭ１２コネクタ仕様をラインナップ
・複数台採用時に配線本数を減らすＭ１２コネクタリンク配線仕様を設定

本装置は、ウェハ・ガラス・マスクなどの精密で割れやすいワークをクリーンな環境を維持させたまま、高速回転させ遠心力の力で水分を吹き飛ばすことが可能。ウェハキャリアカセットをローターにセット後、スタートボタンを押すだけの簡単操作で、ウェハ0～25枚のリンス・乾燥が可能。「比抵抗値を管理しながらの純水リンス」、「N2パージ」、「静電気の徐電」といったオプションを取る付けることもできる。

インキ・樹脂・接着剤などの硬化に適した研究・試作用~フルオート機まで

LEDの想定寿命（照度70%期） 60,000時間

・防水
・耐油
・耐食

2012　新総合カタログ　

■日東工業全商品を掲載　
・キャビネット　
・プラボックス　
・システムラック　
・光接続箱・情報通信　
・熱関連機器　
・盤用パーツ　
・ブレーカ・開閉器・端子台　
・ホーム分電盤　
・標準分電盤　
・制御盤　
・高圧受電設備

■歩留まりの向上に　
■ゴム混入の予防に　
■直行率・良品率の向上に　

短納期でのお届け（当社標準規格品）　
専門知識不要で初心者でも簡単組立　
循環型でランニングコストを削減可能

■2次元超音波風向風速計　HD52.3Dシリーズ　
風向・風速・日射量・気温・湿度・気圧を1台で測定、コンパス内蔵　

■3次元超音波風向風速計　HD2003　
風向・風速・気温・湿度・気圧を1台で測定、コンパス内蔵

■ハイテン鋼板成型用表面処理被膜　KS-G　
高い耐面圧性と耐摩耗性、耐熱性　780MPa級を超えるハイテン材でも従来どおりのプレスが可能　
●用途：各種冷間プレス金型／各種冷間鍛造金型

■新世代ハイテン成型用金型鋼材　NOGA より強く！金型寿命工場　
・耐かじり性を工場　
・チッピング低減を可能に　より簡単に！　
・溶接性の向上　
・最良の熱処理変寸特性を実現　
・究極の被削性を実現

難燃・耐油・耐熱　
200V～250V国内、海外プラグに対応。　

・使用中のプラグにも取付可能です。　
・振動などに強いシステムです。　
・マジック・フッカーは、標準はPBT仕様ですが特注で耐油・耐熱に強いSUS（ステンレス）タイプ対応できます。　

用途：
測定器／工作機械／スタジオ機器／医療機器／災害現場対応／移動車両（車、船、ヘリコプター）

容積式スクリュの採用により、少量の蒸気でも大型火力発電所と同程度の高性能を実現。　

発電+減圧機能付　
プロセス用蒸気圧力を制御
　
●年間発電量　約128万kW　
※発電出力：160kW　年間稼働時間：8,000時間／年※発電量は条件により異なります。
　

用途：
■余剰蒸気による発電　
■減圧弁の代替による発電　

●STEAM STAR MSEG

各種膜に最適：Si、GaAs、SiCｌ、サファイアなど半導体ウェハ、フィルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、太陽電池等　

加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能です。　
極薄ウェハ用、ボロンドーブ、粗ウェハ用センサーもございます。　
ウェットエッチング等のインプロセス向け特殊用途にもカスタム対応可能です。

実績豊富なシミュレーションツール「ANSYS」のユーザ様事例を無料ダウンロード公開中
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ANSYSは、さまざまな現象を検証可能な、業界トップクラスのシミュレーションツールです。
複雑な現象を「見える化」し、品質向上・コスト削減に貢献。
自動車、エレクトロニクス、機械など、様々な業界で活用されています。

高濃度スラリー液による部品摩耗・コンタミを解決　
ポンプ部品の摩耗や液の変質なく、3000回転でも振動なし。

移送は無せん断、無攪拌、無脈動。大投入口！！　

超高粘度液に最適