米国で最もよく知られた工業用モーターの総合メーカー　

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高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め

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標準化により、ローコスト化を一挙実現！！　機械的強度や耐圧性が大きい　腐食に強い　高精度ろ過が可能　洗浄により繰り返し使用が可能　ろ過精度（μm）選択ができる

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