面内振動・面外振動を同時に測定。高周波240MHz対応。鏡面・粗面でも測定可能。位相情報をリアルタイムで確認が可能。

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面全体の振動・変位をリアルタイム測定。周波数をスウィープしながら振動モード確認。分解能1nm。静的変形の測定が可能。

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