高速・高精度！TVI-5200EXa

イントレイ状態のワークを高速・高精度に検査します。　個片基板、多面付基板を高速、高精度に検査します。　検査項目：3D検査　3D検査：バンプ高さ、コプラナリティ　2D検査：バンプ位置ずれ、バンプ間異物、ブリッジ、円形度