複数の異なる高さに存在する欠陥に対して、カメラ側に取り付けたZ軸を駆動させながら対象面に瞬時にフォーカスを合わせて検査を行う事が出来る外観検査ユニットです。　　イメージセンサ、光ピックアップ素子等のカバーガラス表面、受光素子面等、高さの異なる検査対象面に存在する欠陥をハンドラー側のメカ制御をする事無く高精度に検査する事が可能です。各種ハンドラーに搭載する事で容易に高精度外観検査を実現します。　　ユニット側でのZ軸駆動制御により対象面にフォーカスを合わせて検査　検査視野や要求される検出サイズに応じてカメラ、