【刊行にあたって】 本書は現在多方面で使用されている,また将来用いられる微細加工用レジスト材料について,最新の技術動向・問題点・将来展望を示し,この分野に携わる研究者・技術者の更なる研究開発の進展の一助になることを目的に,フォトレジスト開発の最前線で活躍されている研究者の方々により執筆された。読者にとって, 本書がこの目的を充分に果たし,限界に近づきつつあるフォトレジストによる微細加工を更に進展させる糸口になれば幸いである。

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