【刊行にあたって】 本書では,銅めっきを利用した既に実用化されている様々な手法,これから実用化が期待される手法,そして,最先端の基礎研究まで包括的な情報を提供すること目的としている。各章,研究開発に携わる第一線の方々にご多忙な中,ご執筆頂いた。 　半導体産業は,ものづくり産業の中心であり,加工されて美しく輝くウエハが示している様に,人生を豊にしてくれる私たちの宝物である。 　極めて進展の早い分野ではあるが,本書が当該分野および関連分野の企業・大学等の研究者・技術者の今後の研究開発の一助になれば幸いである。

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【刊行にあたって】 本書は現在多方面で使用されている,また将来用いられる微細加工用レジスト材料について,最新の技術動向・問題点・将来展望を示し,この分野に携わる研究者・技術者の更なる研究開発の進展の一助になることを目的に,フォトレジスト開発の最前線で活躍されている研究者の方々により執筆された。読者にとって, 本書がこの目的を充分に果たし,限界に近づきつつあるフォトレジストによる微細加工を更に進展させる糸口になれば幸いである。

【刊行にあたって】 本書は現在多方面で使用されている,また将来用いられる微細加工用レジスト材料について,最新の技術動向・問題点・将来展望を示し,この分野に携わる研究者・技術者の更なる研究開発の進展の一助になることを目的に,フォトレジスト開発の最前線で活躍されている研究者の方々により執筆された。読者にとって, 本書がこの目的を充分に果たし,限界に近づきつつあるフォトレジストによる微細加工を更に進展させる糸口になれば幸いである。