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【クリーンで確実なウェーハ搬送】 ◎超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。 ◎ガスケットによる密閉とフィルター内臓により、外部からのパーティクル汚染を抑えます。 ◎ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えます。 ◎成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を抑えます。 ◎人間工学に基づいて設計および配置されたハンドルは、作業者による適切な取り扱いを実現します。 【最適化された自動化インターフェース】 ◎FIMS対応（SEMI E62準拠）、低トルク開閉ドア ◎10mmフルピッチ、高精度ウェーハ接触水平面 ◎高剛性ロボットフランジ、コンベア用レール、キネマティックカップリング

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