PSセンサは，独自の技術による静電容量方式を採用し，高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です．変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ，コストパフォーマンスを追求した汎用型変位計です．

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共焦点顕微鏡モード：71°傾斜面を測定　干渉モード：0.1nmの高精度測定　コンパクトな測定ヘッドで高速測定

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