抜群のクッション性　均一な厚み精度　表面は20μの特殊エンボス加工　長尺品が可能、微細打ち抜き品が可能　耐熱、耐寒性、耐老化性、弾性回復性　標準品は在庫即納、特注品も生産可能

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お客様の手でかんたんに摩耗したブラシを交換できます　コアは半永久使用できて経済的！　　スーパーロールブラシはリングブラシの積層によって構成されています。リングブラシには「S型」と「I型」があり、用途によってお選びいただけます。　このリングブラシをお手元にストックすることにより、コア部分はそのままで、摩耗したブラシ部分だけをお客様の手で簡単に新しいリングブラシに交換し、すぐに使用を再開できます。　この交換システムにより、メーカーによるブラシ交換の際にかかる輸送費と修理期間の無駄が省けて、大変経済的、作業能率

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USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。　過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。　高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。　省スペース、デバイス製造コスト低減　φ75mm～φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。

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機械に組み込みやすい　　外径668mm～1,668mmまで6種類　フレーム高48mm　フレーム穴加工OK　最大荷重4t　材質S33C

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