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エキシマＵＶ洗浄・表面改質装置
省スペース卓上最適 高速処理時間 AC１００V電源のみ 処理時間設定タイマー装備 扉インターロック装備 ｵｿﾞﾝ除害処理ﾕﾆｯﾄ装備 ワーク均一照射処理機構装備 省スペース卓上最適 水銀ランプ不使用
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