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６軸ヘキサポッドシステム ＣＩＰＡ認定品 H-811
耐荷重5kg トラベルレンジ：34mm/42° アクチュエータ分解能：40nm 最小インクリメンタルモーション：0.2μm 再現性：±0.1μm ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む
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