中空式で電力フル活用！！　省エネルギー　ヒーター内部に空気断熱層を設け、ヒーター裏面への熱の放散を押さえました。　クリーン度クラス100対応　ヒーター表面の特殊処理により発塵が極めて少なくなります。

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金型からの一貫生産！鉄、銅、ステンレス、アルミ

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NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現　Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます　hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応　半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用　高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能

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