スリット光により検出した深さ高さの断面像を、正像と反転像の左右移動交錯による一致合わせを利用して深さ高さ及びX・Y軸方向の測定ができる光学式測定顕微鏡です。　深いホール状内の微小な3次元測定も可能であり、光切断方式の段差測定機のカバー領域を大きく広げました。　対物レンズが垂直にセットされているので、物体像は通常の顕微鏡同様フラットです。シャッターの切換で反転像を消し、正像のみで観察する事も出来ます。

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