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超微小硬度計 ＵＭＩＳ ｌｌ
Low-K材からDLCまで薄膜の硬度測定に 押込み荷重の独立測定 力及び深さ制御 バーコヴィッチ、半球型、立法体型、ヌープ圧子からのデータ分析 装置制御及びデータ分析を併せ待つWinUMI2.0のソフトウェア 国際標準にトレーサブルな校正
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