超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

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クリーン加熱炉、固定炉に最適　サイズ：300×400、100×400　サイズ多種、センサー付加　　長さ、電圧、電気容量自由設計　U字、M字、渦巻等加工可　連続搬送炉、局所加熱、暖房用　　R型、F型（平面一体型）、N型（中空型）　サイズ：65×125、122×122　局所加熱、精密温度分布用　　最大2W/cm2でサイズ自由に設計　ユニット機器、取付場所が狭い機器、医療用、美容器無等に最適

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大幅に省エネ。設備コストも大きく削減。　流体循環ロールにジャケットロールの均温性をプラス　流体流量を25％以下に低減。ロール表面温度±1℃以内。

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