高速駆動が可能なステッピングモータ（外付けダンパなしに2000r/min以上回転）　ソフトダンパで低振動駆動を実現。　ドライバは基板タイプの薄型で、マイクロステップにより基本分解能0.72°を最大1/80（0.009°）まで分割可能。　脱調検知が可能。（モータ軸500r/min以上時有効）

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Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、ステージとベースの中央部に大きな空間を設けました。　ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置する事により、さらなる大型化が可能です。

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超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

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