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大気圧プラズマ処理装置
マルチガステクノロジーにより濡れ性改善からエッチングまで対応 希ガス(Ar/He)の使用 高表面改質効果 ダイレクト方式の採用 高いスループットを実現 特殊誘電体電極・電源の採用 完全グロー放電の実現 電極長寿命化、ガス量削減 ランニングコスト大幅削減
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