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超薄型アライメントステージ ＣＭＸ形
Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、トップテーブルとベースの中央部に大きな空間を設けました。 ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置することにより、さらなる大型化が可能です。
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超薄型アライメントステージ ＣＭＸ形
Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、トップテーブルとベースの中央部に大きな空間を設けました。 ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置することにより、さらなる大型化が可能です。
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超薄型アライメントステージ ＣＭＸ形
Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、トップテーブルとベースの中央部に大きな空間を設けました。 ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置することにより、さらなる大型化が可能です。
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超薄型アライメントステージ ＣＭＸ形
Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、トップテーブルとベースの中央部に大きな空間を設けました。 ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置することにより、さらなる大型化が可能です。
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