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微動位置決めステージシステム
制御分解能1nm以下を達成！！ ユーザーニーズに応えてステージ機構を含めたシステム設計に対応します。 GMR磁気ヘッド、HDメディア、半導体分野等検査の微動位置決めに 光学ミラー、レンズの微調整に 光軸調整の微動位置決めに 光学顕微鏡のフォーカシングに
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