Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間

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当社の有するナノ粒子合成技術、塗布・成膜技術をベースに、特殊なスクリーン印刷成膜材料、短工程の製作技術を用いることで、導電部の線幅30μmを達成し、従来より2桁以上低抵抗のシート抵抗値（0.5Ω/□以下）、全光線透過率70％以上の高光透過性導電膜を開発いたしました。　パターン形状、ピッチ、バイアス角等、自由な設計によりモアレ干渉縞の発生/導電部表面（金属面）・裏面の黒色化処理により外光の反射をそれぞれ抑制できます。

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無梱包での受け渡しサービス　WEBによる校正進捗、校正履歴の公開　ISO-9002を認証済　お客様のニーズを最優先　校正対象がメーカーを問わず広範囲　納期1週間以内　出張校正可　　引っ張り試験機の校正も承ります。

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