水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

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小型でコンパクトなため、省スペースでの設置が可能です。　開閉圧の差が小さく高精度のリリーフ圧を実現しています。　特殊使用としてリリーフ圧が設定できます。（設定範囲30kPa～300kPa）

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VMEbus、CompactPCI各規格、及びEMC対策のサブラックシリーズです。　幅2サイズ、高さ3サイズ、奥行4サイズ、計20サイズ。用途別に3種類のリヤレールを選択可能。　カードガイドレール、フロントパネル、プラグインユニット等、オプション類も充実。

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大幅に省エネ。設備コストも大きく削減。　流体循環ロールにジャケットロールの均温性をプラス　流体流量を25％以下に低減。ロール表面温度±1℃以内。

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SEMI規格対応　高剛性、高強度（割れない）　機械加工によるカスタム形状対応　次世代φ400mm、薄型ウェーハ対応

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