半導体製造設備・液晶ガラスの搬送等に最適　吸着痕を防ぐ樹脂製真空パッド　フレキシブル機構でワークを確実に吸着　パッドホルダー先端部に傾きとストロークを持たせ様々なワークの状態に対応。　パッド材質は3種類（PEEK、電導性PEEK、POM）

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