IPAガスの測定も、半導体・液晶の製造マネジメントのひとつ。オンラインモニターを可能にするABBのIPAガス分布計は、数々のベネフィットをもたらします。　　0～20Vol％のワイドレンジで、きめ細やかな測定が可能。　濃度変化への応答速度が速く、高精度の測定が可能。　乾燥精度を高めることにより、歩溜りの向上を実現。　校正セルの採用で、わずらわしい校正の手間を軽減。

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